수천만 회의 생산 사이클에서 최고의 투여 정밀도, 빠른 개폐 속도, 일관적인 성능을 제공하는 첨단 다이어프램 밸브

유체 시스템 제품, 어셈블리 및 관련 서비스의 선도적인 솔루션 제공 업체인 스웨즈락이 반도체 칩 수율을 높이는 데 필요한 일관성과 긴 사용 수명을 갖춘 스웨즈락Ⓡ ALD7 초고순도(UHP, Ultrahigh-purity) 다이어프램 밸브를 지난 9월 29일 출시했다고 밝혔다. 스웨즈락의 현재 최상위 제품 라인인 ALD6 밸브와 비교할 때, ALD7은 더 뛰어난 유량 흐름 일관성, 유동 용량, 액추에이터 개폐 속도를 제공한다. 또한 칩 제조업체가 생산 공정의 한계를 극복하고, 수요에 대응하는 데 필요한 고온 환경에서도 우수한 성능을 발휘한다.

유량이 향상된(최대 0.7 Cv) ALD7 밸브는 기존 밸브와 같은 38.1mm의 공간에 설치할 수 있기 때문에, 새로운 장비나 기존 장비에 문제없이 적용될 수 있다. 즉, 첨단 기술의 원동력이 되는 반도체 칩의 수요가 전 세계적으로 증가하는데 대해 유연하게 대응할 수 있다는 것을 의미한다. ALD7 밸브는 이전 세대 ALD6보다 더 빠르고 일관적인 밸브 개폐를 바탕으로 수천만 회 이상의 ALD(원자층 증착) 생산 사이클에서 정밀한 투여량을 제공한다. 액추에이터의 개폐 응답 시간은 5ms(밀리초) 미만이며, 액추에이터는 150°C(302°F) 환경에서 사용 가능하며, 밸브 몸체는 200°C(392°F)까지 대응 가능하므로, 고온의 저증기압 프리커서를 안정적으로 공급할 수 있다. 이는 제조업체가 생산량과 수율 극대화에 필요한 변수를 제어할 수 있다는 것을 의미한다.

ALD7 밸브는 단열 기능이 포함된 콤팩트한 디자인이 특징이므로, 시스템 설계자가 반응 챔버 주변에 있는 제한적인 공간을 최대한 활용할 수 있다. 이 밸브는 또한 스웨즈락의 독점적인 초고순도 316L VIM-VAR 스테인리스강으로 밸브 몸체가 구성되어 ALD 공정에 사용되는 부식성 가스에 대한 부식 저항성이 매우 뛰어나다. 즉, 다양한 공정 조건에서 항상 일관적인 성능을 제공하는 ALD7를 사용하면 반도체 장비사는 운영 비용을 대폭 늘리지 않고도 생산성을 강화할 수 있다.

스웨즈락 생산 매니저인 벤 올레흐노비치(Ben Olech nowicz)는 “스웨즈락은 약 20년 전 업계 최초로 ALD 공정 전용 밸브를 개발한 이래로, 칩 제조업체들이 계속해서 공정 노드를 축소하고 칩 수율을 극대화하면서 당사 UHP 밸브가 어떤 수준의 성능을 갖춰야 하는지 더 잘 이해할 수 있도록 반도체 분야 고객들과 협력해왔다”고 말했다. 또한 “이에 따라, 더 빠르게 작동하고, 더 극한의 조건에서 성능을 발휘하며, 까다로운 ALD 공정에서 더 높은 유량 계수를 지원하는 혁신적인 밸브 개발이 이어졌다. 스웨즈락은 ALD7을 설계할 때, 모든 요구사항을 충족하는 신뢰성 높은 밸브에 초점을 맞췄다. 그 결과 ALD7은 끊임없이 변화하고 까다로운 업계에서 경쟁우위를 유지하는 데 필요한 성능을 제공할 수 있게 되었다”고 덧붙였다.

ALD7은 대유량 C-Seal이 있는 모듈 조립형 구성 또는 튜브 맞대기 용접과 스웨즈락 VCRⓇ 피팅 연결구가 있는 직선형 구성으로 공급된다. 고온 전자식 위치 센서, 광 센서 또는 솔레노이드 파일롯 밸브 구성도 옵션 사항으로 공급 가능하다.

스웨즈락
스웨즈락은 오일, 가스, 반도체, 청정 에너지 산업용 유체 시스템 제품, 어셈블리, 서비스를 개발하는 자산 가치 약 20억 달러의 비상장 제조업체이다. 미국 오하이오주 솔론에 본사를 둔 스웨즈락은 5,700여 명의 직원들이 70개국에 있는 약 200개의 판매 및 서비스 센터에서 고객 서비스를 제공하고 있으며, 20개의 제조 시설과 5개의 글로벌 기술 센터를 운영하고 있다.
스웨즈락 코리아
스웨즈락 코리아는 한국 내 스웨즈락 공식 판매 및 서비스 센터로, 1984년 설립되었다. 40년 가까이 다양한 유체 시스템 서비스와 제품 및 교육을 제공하여 고객이 신뢰할 수 있는 파트너로 자리 잡았다. 스웨즈락 코리아는 고객의 유체 시스템 과제를 명확히 이해하고 해결한다는 비전을 달성하기 위해, 광명 본사에서 유체 시스템 설계 및 어셈블리 서비스를 제공하는 솔루션 & 서비스 센터를 운영하고 있다. 광명과 부산의 스웨즈락 트레이닝 센터는 직접 체험 가능한 전문 트레이닝 프로그램을 제공한다. 현재 광명 본사와 부산 사무소에 80명 이상의 직원들이 반도체, 석유·가스, 화학, 정유, 운송 산업 내 소중한 고객들의 니즈를 충족하기 위해 근무하고 있다.