- WEC, Photolithography 어플리케이션에 CMP 슬러리 필터 테스트 역량 추가로국내 고객사와 공동 평가 확대 및 가속화

특수 케미컬 및 첨단 소재 솔루션 선도 업체인 인테그리스(Entegris Inc., Nasdaq : ENTG)가 수원 광교의 한국기술센터(Korea Technology Center)에 CMP 슬러리 필터 테스트 장비를 지난 9월 16일 성공적으로 도입했다고 발표했다. 인테그리스 한국기술센터는 반도체 필터 테스트, 첨단 증착 소재, 표면 처리 및 집적에 대한 연구 장비 및 전문가를 갖추고 있는 연구시설이다.

CMP 슬러리 필터 테스트는 반도체 공정에 오염물질을 제어하는 인테그리스 ‘클린 케미컬 딜리버리 솔루션’의 핵심 구성요소로서 첨단 노드와 핵심 반도체 공정의 높은 수율, 신뢰성 및 성능 요구를 충족하는데 중요한 역할을 한다. 칩 디자인 아키텍처가 점점 더 복잡해지고 아주 작은 오염물질에도 반도체 민감도가 높아지면서 반도체 공정의 오염 물질 제어에 대한 수요도 증가하고 있기 때문이다. 인테그리스는 이번 한국기술센터 확장을 통해 반도체 공정에서 사용되는 모든 종류의 케미컬, 솔벤트 및 CMP 슬러리 필터 테스트 장비를 갖추게 되었다.

한국기술센터는 CMP 슬러리 테스트 스탠드와 파티클 카운터 장비를 갖춤으로써 국내 주요 벌크 슬러리 제조사 및 종합 반도체 업체(IDM) 고객사와 함께 POU(Point -of-Use) 필터 공동 평가를 성공적으로 완료했다. 이 결과 인테그리스는 고객사 공정에 가장 적합한 CMP 슬러리 여과 솔루션을 제공하고, 고객은 신기술에 도입할 제품 선정 시간을 단축시킬 수 있게 되었다. 또한, 한국기술센터의 전문가가 보유한 연구 지식과 노하우를 통해서 고객이 더 높은 수준의 미세오염 제어를 달성하도록 지원하고 있다.

인테그리스의 미세오염 제어 부문 수석부사장인 클린트 헤리스(Clint Haris)는 “최근 고객들은 4차 산업혁명으로 인한 인공지능, 자율주행, 블록체인, IoT 등 늘어나는 메모리 칩 수요를 충족시키고자 노력하고 있다”며, “인테그리스는 한국기술센터에 지속적으로 투자를 진행하고, 인테그리스 글로벌 기술센터와의 협업을 통해 고객이 겪고 있는 반도체 수율, 신뢰성 및 성능에 관련된 중요 과제를 해결할 수 있도록 지원함으로써 한국 고객의 선택적 파트너로 자리매김하고 있다”고 덧붙였다.

인테그리스는 한국기술센터 외에도 화성(장안)과 원주(문막), 수원에 위치한 현지 제조 및 서비스 시설을 통해 특수 가스 및 케미컬, 밸브, 피팅, 튜브 생산 및 펌프 테스트를 포함하는 광범위한 첨단 솔루션을 국내 고객에게 빠르고 안정적으로 공급하고 있다. 지난 5월에는 2020년 2분기 가동 예정인 최신 첨단 드럼 제조 시설 증설 투자를 진행하였다. 본 확장은 인테그리스의 한국에 대한 장기적인 투자 의지를 보여준다.

인테크리스에 대하여
인테그리스는 마이크로일렉트로닉스 및 하이테크 산업을 위한 특수 케미컬과 첨단 소재 솔루션 분야의 선도 기업으로 ISO 9001 인증을 획득했다. 또한 미국, 중국, 프랑스, 독일, 이스라엘, 일본, 말레이시아, 싱가포르, 대만 그리고 한국에 제조시설, 고객 서비스 및 연구시설을 보유하고 있다. 인테그리스에 대한 자세한 내용은 홈페이지(www.entegris.com)에서 확인할 수 있다.