1. 서 론

먼저, 기체용 유량계에는 서멀 매스 플로우 미터(Thermal mass flow meter)와 라미나 플로우 미터 (Laminar flow meter) 등 다양한 방식의 유량계가 존재한다. 기체용 유량계를 JCSS급 국제 표준에 맞춘 추적 확인 교정을 위해서는, 또 제조사가 교정 기준을 만족하고 있다면 제조사에 의뢰하거나 전문 교정 업체에 유량계를 보낼 수밖에 없었다.

Sierra Instruments, Inc.(미국)에서 개발 및 제조한 ‘최고 정밀도의 휴대용 가스 유량 교정기’ CalTrakⓇ 800 시리즈(이하 800 시리즈, 사진 1)와 대유량 교정이 가능한 CalTrakⓇ XL 시리즈(이하 XL 시리즈)의 두 가지 장치로 구성된 기체 유량 교정기는 최소 0.5 slpm에서 최대 1500 slpm의 범위까지 가능하며, 휴대용으로 설치할 수 있기 때문에 현장에서 기체 유량 교정을 할 수 있다. 본 제품은 휴대가 간편하고, 유지보수의 번거로움이 적어 가스용 유량계를 자주 검증 및 교정하는 사용자에게 적합하다.

본고에서는 기체용 유량계의 유량 교정에 소요되는 비용 절감과 현장의 다운타임 시간 단축을 실현하였으며, 사용자 친화적으로 설계되고 사용 편의성을 극대화한 휴대용 가스 유량 교정기를 소개하고자 한다.

2. 제품 기본 구성

1) 800 시리즈의 제품 개요 및 원리
800 시리즈는 베이스 유닛과 저마찰 코팅된(저질량 붕규산 유리관 내부를 상하로 움직이는 그라파이트 피스톤이 포함된) 플로우 셀로 구성되어 있으며, 교정하는 유량에 따라 교체 가능한 5개의 플로우 셀을 제공한다. 플로우 셀은 특별한 도구 없이 쉽게 교체할 수 있다.

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⇒ 본고는 월간지 ‘計測技術’(일본, 일본공업출판주식회사 발행) 2025년 1월호(특집)를 번역·전재한 것입니다. 본 기사의 무단 전재 및 복사는 저작권 법상 금지되어 있습니다. 원문이 필요하시면 당사로 연락바랍니다