1. 서 론

필자는 최근 10년 동안 질량 유량계, 매스 플로우에 대한 강연을 해왔으며, 가스 제해 장치 강사도 겸하고 있다. 가스의 유량을 제어하는 매스 플로우 컨트롤러(이하 MFC), 제어한 가스가 챔버에서 반응한 후 펌프로 배기된 것을 무해화시키는 제해 장치로, 기기들의 공통된 사명은 ‘독성 가스로부터 사용자의 안전을 확보하는 것’이고 ‘정확한 유체 측정과 제어 기술을 통한 안전’을 주제로 법인을 설립하게 되었다.

이번 회에는 질량 유량계의 안전과 관련된 주제 방폭 구조 매스 플로우 미터(이하 MFM)에 관해 소개한다. 이전에도 방폭 구조 매스 플로우에 관해 다룬 적이 있지만, 방폭 구조 매스 플로우 수요가 꾸준히 증가함에 따라 일본 국내 방폭 인증(JPEx) 설명을 추가해 설명하고자 한다. 2017년 브롱호스트재팬㈜에서 본질 안전 방폭 구조 MFM ‘FLOW 시리즈’의 TIIS 인증을 취득한지 7년 이상 지났다. ‘수소 사회’를 향한 기치 아래 방폭 구조의 매스 플로우에 대한 수요는 확실히 증가하고 있다.
 

2. 방폭이란

먼저, 방폭에 관해 설명한다. 방폭은 말 그대로 폭발성 가스로 인한 폭발 사고 방지가 역할이다. 그리고 산업안전보건법 제42조에 따라 일본 내에서는 후생노동대신이 정한 ‘전기기계기구 방폭 구조 기준’을 갖춘 방폭 구조의 전기기계기구가 아니면 양도, 대여 또는 설치가 불가능하다. 예를 들어, 석유류는 상온의 압력에서도 기화한다. 환경 조건에 따라 스위치 개폐에 따른 미세한 전기 스파크나 정전기에 의한 화재나 폭발 위험이 있다. 연소용 가스(LPG, LNG류)도 배관 누출로 인해 공기와 만나면 폭발이 일어날 수 있다.

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⇒ 본고는 월간지 ‘計測技術’(일본, 일본공업출판주식회사 발행)2025년 1월호(연재)를 번역·전재한 것입니다. 본 기사의
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