1. 서 론

이번 회에는 지금까지 했던 강연과 블로그에서 받은 질문에 답변하는 형식으로 진행한다. 열식 유량 센서를 탑재한 매스 플로우 컨트롤러(이하 MFC : 사진 1) 및 매스 플로우 미터(이하 MFM)를 사용한 유량 측정 및 제어는 상대적으로 덜 알려진 분야이다. 따라서, 사용자들의 질문에 차근차근 설명하고자 한다. 이전에도 설명한 적이 있지만, 전체 내용을 정리하니 참고 바란다.
2. 독성 가스에 엘라스토머 실링을
사용할 수 없는가?

독성 가스의 대표적인 예로 ‘특수 고압 가스’가 있다. 반도체 제조 공정에서 사용되는 가스 중 위험한 가스를 특수 고압 가스로 분류한다. 모노실란(SiH4), 디실란(Si2H6), 아르신(AsH3), 포스핀(PH3), 디보란(B2H6), 모노저메인(GeH4), 셀렌화수소(H2Se)의 7종이 있다. 이 7종은 반도체 제조에 널리 사용되는 39종의 ‘특수 재료 가스’ 중에서도 사용 빈도가 높고, 위험한 가연성 가스와 독성 가스이며, 판매·이동·소비 시에는 특별한 규제가 적용된다. 가스는 메탈 실링으로 대응하는 것이 일반적이다. 그러나 가스 자체로 인해 부식되지 않는 엘라스토머 실링도 존재한다. 실링 재료를 사용한 MFC에서 누설을 까다롭게 체크하면 “독성 및 가연성 가스에 사용할 수 있지 않는가” 하는 질문을 받은 적이 있다.

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⇒ 본고는 월간지 ‘計測技術’(일본, 일본공업출판주식회사 발행) 2025년 3월호(연재)를 번역·전재한 것입니다. 본 기사의
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