1. 서 론

최종회에서는 매스 플로우 컨트롤러(이하 MFC)와 매스 플로우 미터(이하 MFM)의 주변 기기에 해당하는 전원, 유량 표시기, 설정기 및 그 적용 사례에 대해 설명하고자 한다. 지금까지는 MFC와 MFM(이하 ‘매스 플로우’라 함) 본체의 작동 원리와 구조, 특성에 중점을 두어 설명해 왔지만, 매스 플로우는 독립적으로 운용되는 장비가 아니다. 실제 현장에 설치하고 운용하기 위해서는 전원 공급은 물론 유량의 표시와 설정 등을 담당하는 주변 기기에 대한 이해도 필요하다.

이에 이번 회에서는 MFC용 전원·표시·설정기를 개발해 온 전통 있는 기업 UINICS㈜의 신제품 SP83 31을 소개하고, 디지털 네트워크화가 빠르게 진행되는 가운데서도 이러한 아날로그 인터페이스 기기가 현장에서 수행하는 역할과 다양한 응용 분야를 살펴보고자 한다.

2. 매스 플로우 전용 전원

매스 플로우는 니들 밸브나 플로트식 유량계처럼 배관에 설치한다고 해서 곧바로 유량을 측정하고 제어할 수 있는 장비는 아니다. 작동시키기 위해서는 먼저 전원을 준비해야 한다. 또한 매스 플로우는 AC 100 V에 직접 연결하도록 설계되어 있지 않다. 카탈로그나 사용 설명서를 살펴보면 알 수 있듯이 매스 플로우의 정격 전원은 대부분 DC ±15 V 또는 DC 12~ 24 V이다. 즉, 일본 국내에서 사용하는 경우 AC 100 V를 DC로 변환하는 기능을 갖춘 ‘매스 플로우 전용 전원’이 필요하다(그림 1). 

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⇒ 본고는 월간지 ‘計測技術’(일본, 일본공업출판주식회사 발행) 2026년 6월호(연재)를 번역·전재한 것입니다. 본 기사의

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